Мушаххасоти | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (Роҳи ҳавоӣ) |
Навъи мотор | Моторҳои сефазавии бе оҳан | Мотор чархи овоз + |
Резолюция | Миқдори рақамии пешфарз 100 нм | 1vpp то 5нм |
Ҳаракати мотор | Пайваста 60N/қуллаи 210N | Пайваста 60N/қуллаи 210N |
Андозаи ҳадди ақали қадам[nm] | 200нм | 100нм |
Сафар [мм] | 200×200 | 10 |
Такрори такрорӣ [um] | ±0,3 | |
Дақиқии мавқеъ [um] | ±1 | ±0,5 |
Ҳамворӣ [um] | 10ум | 5ум |
Ростӣ [ум] | 1ум | 1ум |
Суръати максималӣ [мм/с] | 500мм/с | 30мм/с |
Иқтидори боркашӣ [кг] | 5 кг (меҳвари Z бо вазни тавозуни қувваи доимии пневматикӣ) |